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什麽是能量色散X射線熒光光譜儀

返回（huí）列表 來源：發（fā）布日期： 2025.05.15

能量色散X射線熒光光譜儀由X射線（xiàn）光管、樣品室、準直器、探測器及技術電路和（hé）計算（suàn）機組成。此外，亦可在（zài）樣品前加一單（dān）色器，達到降低背景的目的，以改善色散X射線熒（yíng）光（guāng）光譜儀的檢出限。它與波長色散X射線熒光光譜儀的顯著不同是分光晶體，而是直接用能量（liàng）探測器來分辨特征譜線，達到定（dìng）性和定量分析的目的。

如圖：

原理（lǐ）

能量色散X射線熒光光（guāng）譜儀

德國斯派克手持（chí）光譜儀

當樣品（pǐn）中待測元素的特（tè）征射線進入能量探測（cè）器時，既（jì）會產生電子孔穴對，其數量正比於入射光子的能量，經過前置放大器，產（chǎn）生（shēng）典雅脈衝。由（yóu）於前方產生的信號幅度小，信噪比低，需要慢脈衝成（chéng）型放大器將其放大，並采用濾波器壓製極低和極高的高頻信（xìn）號，改善信噪比，提高分辨率。

在能量探（tàn）測過程中，多道分析器起著模數轉換的重要作用。多道分析（xī）器（qì）的作用是測量（liàng）每一放大器的脈衝輸出高度，按積分方式對脈高分類計數，完成模擬信號向數字信號的轉換，形成脈衝高度光譜。在多道分析器中，首先利用模數轉換器甄別脈衝信號的高度（能量（liàng）），並按其能量分類以一定能量間隔作（zuò）為X軸（道），統計在該能量間（jiān）隔內的（de）脈衝數，得（dé）到相應能量的技術，並作為Y軸。從而獲得我們熟知的每道能量間隔（gé）的光子計數。

由於（yú）放大器和多道分析器（qì）均需要一定的時（shí）間進行信息的處理（lǐ）和係（xì）統的重置與恢複，在此期間（jiān）無法接受新的脈衝信（xìn）號，故會（huì）產生係統死時間。當（dāng）計數率（lǜ）高的時候，兩個X射線光子在放大器輸出脈衝寬度內同時達到（dào）探測器的機（jī）率很高，這時會（huì）出現脈衝堆積，兩個脈衝不能被分辨，脈衝發生畸（jī）變（biàn）。故在多道分析器中，通常都會配置死時間校（xiào）正和抗脈衝堆積電路來克服這兩個問題。

此外，在能量色散XRF光譜儀中采用充He氣條件時，應小心，因為He可能穿透過較薄（báo）的探（tàn）測（cè）器Be窗，損害探測器的低溫真空係統。